ttern-NANO微型CT测试模体，MicroCT-Barpattern-NANO纳米显微CT柱状测试卡，采用双硅芯片相互垂直、通过塑料支架固定的设计理念，使两个3
x 3 mm²芯片均呈现数组线状或点状图样，宽度和直径从1µm到10µm不等。
ttern-NANO微型CT测试模体，MicroCT-Barpattern-NANO纳米显微CT柱状测试技术参数：
柱状部分：
直径：5.2 mm
总长：19.1 mm
材料：致密塑料
芯片部分：
直径：2.96 mm
总长：0.66 mm
材料：硅
芯片上图样尺寸范围：1µm至10µm
图样深度：5µm至15µm
对比材料：硅/空气
ttern-NANO微型CT测试模体，MicroCT-Barpattern-NANO纳米显微CT柱状测试卡芯片上有一个倾斜的边缘(字母“L”字样)以及一个西门子星卡图样(呈放射状)。不同的图样结构均以这样的方式排布于芯片上，从而使用户仅通过一次曝光和测量就可以对整个芯片的中心以及外围的空间分辨率做出评估。
作为我们流行的MicroCT-BarPattern-Phantom的进一步发展，我们现在推出BarPattern-NANO！
ttern-NANO微型CT测试模体，MicroCT-Barpattern-NANO纳米显微CT柱状测试卡
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| 基础材料： | 固体塑料（切屑放在空气中的支撑件上-壁厚> 0.3 mm） |
| 模体直径： | 5.2毫米 |
| 高度： | 19毫米 |
| 硅芯片的措施： | 3 x 3 x 0.66毫米 |
| 芯片上的结构（分辨率）： | 分别为1至10 µm。500至50 LP / mm |
| 芯片材质： | 硅 |
| 图案对比 | 硅/空气 |
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